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一种光学系统像差补偿装置，其特征在于：从光线入射方向依次包括光源(101)、照明系统(102)、二次光源模块(103)、投影物镜(104)、波像差测量模块(105)、计算机(106)；其中二次光源模块(103)包括散射板(201)、掩模板(202)和掩模台(203)；其中投影物镜(104)它包括第一段光组(211)、第二段光组(212)、第三段光组(213)，各光组进行分段密封，同时在投影物镜上还安装有第一段进气口流量控制器(221)、第一段出气口流量控制器(222)、第二段进气口流量控制器(223)、第二段出气口流量控制器(224)、第三段进气口流量控制器(225)、第三段出气口流量控制器(226)，第一段气压计(231)、第二段气压计(232)、第三段气压计(233)；其中波像差测量模块(105)包括硅片台(241)、波像差传感器(242)；光源(101)发出的激光通过传输光路导入照明系统(102)，经照明系统(102)的光路折转、扩束和光学变换后，在投影物镜(104)的物面即掩模面上形成均匀照明光；二次光源模块(103)安装在投影物镜(104)的物面一侧，经过二次光源模块(103)出射的测试光通过被测投影物镜(104)后，测试光的波前会携带着投影物镜(104)的波像差信息；投影物镜(104)的第一段光组(211)上头部和尾部分别安装有第一段进气口流量控制器(221)、第一段出气口流量控制器(222)，控制第一段光组(211)中氮气的流速和气压，第一段光组(211)还安装有第一段气压计(231)，用于精确测量第一段光组(211)内部的氮气气压，第二段光组(212)上头部和尾部分别安装有第二段进气口流量控制器(223)、第二段出气口流量控制器(224)，控制第二段光组(212)中氮气的流速和气压，第二段光组(212)还安装有第二段气压计(232)，用于精确测量第二段光组(212)内部的氮气气压，第三段光组(213)上头部和尾部分别安装有第三段进气口流量控制器(225)、第三段出气口流量控制器(226)，控制第三段光组(213)中氮气的流速和气压，第三段光组(213)还安装有第三段气压计(233)，用于精确测量第三段光组(213)内部的氮气气压；波像差测量模块(105)位于投影物镜(104)像面一侧，上面为硅片台(241)，波像差传感器(242)安装在硅片台(241)上，用于对被测物镜波像差进行动态测量，移动硅片台(241)进行视场选择；计算机(106)用于测量过程中控制，测量数据存储，计算各段气压补偿量该像差补偿装置的补偿机理在于分段调节氮气气压来间接改变各密封段的氮气折射率，根据不同像差对各段氮气气压的灵敏度特性，通过阻尼最小二乘法计算出各段氮气气压的调整量，实现对整个光学系统进行像差动态补偿。 |
