| 摘要 |
ダイヤフラムの長さがダイヤフラムの幅の少なくとも三倍である、微小電気機械的圧力センサー構造。縦長のダイヤフラムは、ウエハーの側屈とダイヤフラムの幅に沿ったダイヤフラムの側屈との最小化された差を経験する。垂直方向では、ダイヤフラムは少なくとも三倍長く、そのことにより、ウエハーの曲げ形状と正確に一致する。これにより、構造の曲げにより引き起こされる総誤差が有意に軽減され、よりロバストな構造が達成される。同時に、より長いダイヤフラムは、検知のためのモードのたわみ領域を提供し、このようにして装置の感度を有意に改善する。【選択図】図２ |
