发明名称 Verfahren und Vorrichtungen zur Erfassung der Oberflächenstruktur und Beschaffenheit einer Probe
摘要 Verfahren zur Erfassung der Oberflächenstruktur und Beschaffenheit einer Probe mittels einer Abtasteinrichtung, nämlich zur Erfassung chemischer Substanzen in Form von Fingerspurenfett auf und in der Probenoberfläche, wobei die Probe und die Abtasteinrichtung relativ zueinander bewegt werden, dadurch gekennzeichnet, dass die Probenoberfläche mit einem von der Abtasteinrichtung (2) abgegebenen Lichtstrahl (L) zeilenweise bestrahlt, der von der Probenoberfläche reflektierte Lichtstrahl (R) erfasst und aus Abweichungen des reflektierten Lichtstrahls (R) vom abgegebenen Lichtstrahl (L) ein digitales Bild der Topographie der Probenoberfläche und der Intensität des reflektierten Lichtstrahles (R) erzeugt wird, wobei der Lichtstrahl (L) mit einer Wellenlänge abgegeben wird, die dem Wellenlängenbereich des Absorptionsspektrums der Beschaffenheit der Probenoberfläche, nämlich einer zu erfassenden chemischen Substanz in Form von Fingerspurenfett entspricht, wobei die Abtasteinrichtung (2) einen Lichtstrahl abgibt, der im Infrarotspektrum breitbandig Licht in einem Wellenzahlbereich zwischen 800 und 3.750 cm–1 emittiert.
申请公布号 DE102014203918(B4) 申请公布日期 2016.09.15
申请号 DE201410203918 申请日期 2014.03.04
申请人 Marx, Jürgen 发明人 Marx, Jürgen;Eberl, Heinrich Alexander
分类号 G01B11/24;G01N21/31;G01N21/3563;G01S17/10;G01S17/32 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
主权项
地址