摘要 |
Verfahren zur Erfassung der Oberflächenstruktur und Beschaffenheit einer Probe mittels einer Abtasteinrichtung, nämlich zur Erfassung chemischer Substanzen in Form von Fingerspurenfett auf und in der Probenoberfläche, wobei die Probe und die Abtasteinrichtung relativ zueinander bewegt werden, dadurch gekennzeichnet, dass die Probenoberfläche mit einem von der Abtasteinrichtung (2) abgegebenen Lichtstrahl (L) zeilenweise bestrahlt, der von der Probenoberfläche reflektierte Lichtstrahl (R) erfasst und aus Abweichungen des reflektierten Lichtstrahls (R) vom abgegebenen Lichtstrahl (L) ein digitales Bild der Topographie der Probenoberfläche und der Intensität des reflektierten Lichtstrahles (R) erzeugt wird, wobei der Lichtstrahl (L) mit einer Wellenlänge abgegeben wird, die dem Wellenlängenbereich des Absorptionsspektrums der Beschaffenheit der Probenoberfläche, nämlich einer zu erfassenden chemischen Substanz in Form von Fingerspurenfett entspricht, wobei die Abtasteinrichtung (2) einen Lichtstrahl abgibt, der im Infrarotspektrum breitbandig Licht in einem Wellenzahlbereich zwischen 800 und 3.750 cm–1 emittiert. |