3 THREE DIMENSIONAL SEMICONDUCTOR DEVICE

摘要

3차원 반도치 장치를 제공한다. 장치는, 콘택 영역, 더미 영역 및 셀 어레이 영역을 포함하는 기판과, 기판 상에 수직으로 적층되 복수의 전극들을 포함하는 적층 구조체를 포함하되, 콘택 영역에서 전극들은 각각의 아래 전극의 단부를 노출시키도록 계단식으로 배치되며, 더미 영역에서 적어도 두 개의 전극들의 단부들이 실질적으로 동일한 수평 위치에 그 측벽들을 갖는다.