MICRO-MECHANICAL SENSOR OF ANGULAR VELOCITY

摘要

본 발명은 마이크로기계 공진기를 제공하고, 이는 스프링 구조가 적어도 질량체들에 연결된 제1 바아와 운동 축 방향으로 연장하는 제2 바아를 결합하는 스프링을 포함하도록 스프링 구조에 의해 공통 축의 방향으로 결합된 두 개의 질량체들을 포함하고, 상기 스프링은 운동 축의 운동 방향에 수직인 방향으로 굴곡되도록 배열된다. 또한, 본 발명은 마이크로기계 공진기 매트릭스, 센서 및 네비게이션 장치에 관한 것이다.