| 发明名称 |
SCREENING METHOD FOR SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH1144730(A) |
申请公布日期 |
1999.02.16 |
| 申请号 |
JP19970173237 |
申请日期 |
1997.06.13 |
| 申请人 |
ARUFUAKUSU DENSAN SYST KK |
发明人 |
ISHIZUKA SHIZUKA |
| 分类号 |
G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
