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发明名称 Method for manufacturing semiconductor device
摘要
申请公布号 GB2336243(B) 申请公布日期 2000.03.08
申请号 GB19990007923 申请日期 1999.04.07
申请人 * NEC CORPORATION 发明人 MITSUNARI * SUKEKAWA
分类号 H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
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