Verfahren zur Herstellung eines beschichteten Substratkörpers, Substratkörper mit einer Beschichtung und Verwendung des beschichteten Substratkörpers

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines beschichteten Substratkörpers durch CVD-Abscheidung mindestens einer Schicht aus einem Carbonitrid eines Metalls der IVa-VIa-Gruppe des Periodensystems, bei dem in der Gasatmosphäre während der Abscheidung neben einem Nitril zusätzlich ein monozyklischer Kohlenwasserstoff verwendet worden ist. Der so hergestellte beschichtete Substratkörper hat erfindungsgemäß eine hohe Härte und wird vorzugsweise zu Zerspanungsoperationen bei Schnittgeschwindigkeiten >= 250 m/min verwendet.