赤外線用の集積型撮像デバイス及びその製造方法

摘要

集積型撮像デバイスは、集積回路（４）を有した基板（１）、カバー（２）、基板（１）とカバー（２）との間に形成されたキャビティ（６）、及びキャビティ（６）の中に配設されたセンサ（５）またはセンサ（５）の一群とを備える。基板（１）またはカバー（２）におけるキャビティ（６）の側とは反対側となる面（１１，１２）は、入射する輻射線を指向する表面構造（８）を有する。表面構造（８）は、赤外線を焦点に集めるゾーンプレートまたはフレネルレンズであってもよく、基板（１）またはカバー（２）の面（１１，１２）にエッチング加工されるのが好ましい。センサ（５）またはセンサ（５）の一群を、基板（１）におけるキャビティ（６）の側とは反対側となる面（１１）にある接続パッド（１０）と電気的に接続する、少なくとも１つの基板貫通ビア（９）を設けてもよい。【選択図】図１