摘要 |
種々の実施形態では、薄膜トランジスタおよび/またはタッチパネルディスプレイ等の電子素子は、導体層と、導体層の上方または下方に配置される、Cuと、Ta、Nb、Mo、W、Zr、Hf、Re、Os、Ru、Rh、Ti、V、Cr、およびNiから成る群から選択される1つ以上の耐火金属元素との合金を含む、キャッピング層および/または障壁層とを特徴する、電極および/または相互配線を組み込む。上記薄膜トランジスタは、シリコンまたはガラスのうちの少なくとも1つを含む、基板と、電極であって、(i)前記基板上に配置される、Cuと、Ta、Nb、Mo、W、Zr、Hf、Re、Os、Ru、Rh、Ti、V、Cr、およびNiから成るリストから選択される1つ以上の耐火金属元素との合金を含む、障壁層と、(ii)前記障壁層上に配置される、Cu、Ag、Al、またはAuのうちの少なくとも1つを含む、導体層と、を含む、電極とを備え得る。 |