一种钛薄膜的应用以及使用该钛薄膜的硅基光波导

摘要

本发明涉及一种钛薄膜的应用以及使用该钛薄膜的硅基光波导，钛薄膜用于减少甚至完全消除近红外波段的电磁波的反射。本发明将钛薄膜作为近红外波段的电磁波的减反膜，具有宽带(1000nm～2200nm)、宽角度、超薄的性质，同时制备简单，制备成本较低，因其超薄性可以减轻减反装置的重量，节省减反装置的成本，且携带方便；此外，要实现对不同电介质材料的减反效果，只需要调节钛薄膜的厚度即可，具有广泛的应用；另外，本发明的硅基光波导由于其端面覆盖了一层钛薄膜，大大减弱了硅基光波导端面的反射，从而使得硅基光波导中的驻波也大大变弱，大大降低了反射波对光路中其他器件的影响，确保光路体系的稳定性。

主权项

一种钛薄膜的应用，其特征在于：用于减少甚至完全消除近红外波段的电磁波的反射。