激光加工系统及激光调焦方法

摘要

本发明涉及一种激光加工系统及激光调焦方法；激光加工系统包括：激光发生器；聚焦物镜，激光发生器产生的激光通过聚焦物镜汇聚；CCD相机，通过聚焦物镜成像，聚焦物镜为CCD相机的成像物镜，聚焦物镜的焦点与CCD相机的成像焦平面重合；及，标靶机构，包括第一光源、反射镜及标靶，标靶贴合于反射镜上，第一光源发出的光照射至反射镜上，并经过聚焦物镜，并最终在CCD相机的成像焦平面上形成标靶的虚像。上述激光加工系统及使用该激光加工系统的激光调焦方法，对图像的识别度高，误差小，对焦点落在晶圆片表面的精确的聚焦物镜高度值寻找精确度较高，对激光加工的深度控制起到很好的控制，可以提高激光加工的整体良率。

主权项

一种激光加工系统，其特征在于，包括：用于产生激光的激光发生器；聚焦物镜，所述激光发生器产生的激光通过所述聚焦物镜汇聚；CCD相机，通过所述聚焦物镜成像，所述聚焦物镜为所述CCD相机的成像物镜，所述聚焦物镜的焦点与所述CCD相机的成像焦平面重合；及标靶机构，包括第一光源、反射镜及标靶，所述标靶贴合于反射镜上，所述第一光源发出的光照射至所述反射镜上，并经过所述聚焦物镜，并最终在所述CCD相机的成像焦平面上形成标靶的虚像。