| 发明名称 |
VISUAL EXAMINATION DEVICE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1144513(A) |
申请公布日期 |
1999.02.16 |
| 申请号 |
JP19980038235 |
申请日期 |
1998.02.20 |
| 申请人 |
SONY CORP |
发明人 |
TOMITANI HIROSHI;ISOMURA EIJI |
| 分类号 |
G01B11/24;G01N21/88;G01N21/956;G01R31/308;G06T1/00;H01L21/66;(IPC1-7):G01B11/24;G06T7/00 |
主分类号 |
G01B11/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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