| 摘要 |
<p>Es wird eine Vorrichtung (1) zum Behandeln, Lagern und Beschicken von Trägern für scheibenförmige Gegenstände, wie Halbleiterscheiben oder CDs, beschrieben, die mindestens eine Reinigungseinheit (18) und mindestens einen Speicher (20) für Träger (11, 11') für die scheibenförmigen Gegenstände sowie mindestens eine Sortiereinheit (16) für die scheibenförmigen Gegenstände umfasst, wobei die Reinigungseinheit (18), der Speicher (20) und die Sortiervorrichtung (16) integrale Bestandteile der Vorrichtung (1) sind und durch eine gemeinsame Regelung betrieben werden.</p> |
