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发明名称 Method of curing hydrogen silsesquioxane resin by electron beam to convert it to a silica containing ceramic coating
摘要
申请公布号 EP0778612(B1) 申请公布日期 2007.07.18
申请号 EP19960119378 申请日期 1996.12.03
申请人 DOW CORNING CORPORATION;NATIONAL SEMICONDUCTOR CORPORATION 发明人 CAMILLETTI, ROBERT CHARLES;SAADAT, IRFAN;THOMAS, MICHAEL
分类号 C04B41/00;C04B41/87;B05D3/06;C01B33/12;C04B35/14;C04B41/45;C04B41/50;C08J3/28;C09D183/04;H01L21/312;H01L21/316 主分类号 C04B41/00
代理机构 代理人
主权项
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