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发明名称 METHOD FOR TRENCH DEPTH MEASURE IN SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100877267(B1) 申请公布日期 2009.01.08
申请号 KR20060131462 申请日期 2006.12.21
申请人 发明人
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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