应用清洗基板方法的流体喷头及流体喷头装置

摘要

一种应用清洗基板方法的流体喷头及流体喷头装置，该清洗基板方法包含以下步骤：(A)使处理液溶解有二氧化碳，以形成二次处理液；(B)将气体与二次处理液通入一流体喷头，且气体挤压二次处理液向下流动；(C)二次处理液自该流体喷头喷出至一基板上；及(D)二氧化碳从二次处理液中释出，以增加处理液接触基板表面的冲击力。应用所述清洗基板方法的流体喷头包括一喷头本体，一容室，一进气管，一进液管，及多个喷射流道。应用所述清洗基板方法的流体喷头装置，包含二左右设置的流体喷头。借此，使得基板的清洁效率大幅提升，进而提升产品合格率，且制程上更为环保。

主权项

一种应用清洗基板方法的流体喷头，该清洗基板方法包含以下步骤：(A)使处理液溶解有二氧化碳，以形成二次处理液；(B)将气体与二次处理液通入该流体喷头，且气体挤压二次处理液向下流动；(C)二次处理液自该流体喷头喷出至一基板上；及(D)二氧化碳从二次处理液中释出，以增加处理液接触基板表面的冲击力；其特征在于：该流体喷头包括一喷头本体，包括一第一内侧壁面、一沿一第一方向与该第一内侧壁面相间隔的第二内侧壁面、一连接该第一内侧壁面及该第二内侧壁面的内底壁面，及一相反于该内底壁面的外底壁面；一容室，形成于该喷头本体且沿该第一方向延伸，该容室的两相反侧分别为该第一内侧壁面及该第二内侧壁面，该容室的底面为该内底壁面；一进气管，设置于该喷头本体的上方并连通该容室；一进液管，沿该第一方向延伸且一端连接该第二内侧壁面，并包括一邻近该第一内侧壁面的进液口，及至少一相反于该进气管一侧且连通该容室并沿该第一方向延伸的喷出口；及多个喷射流道，彼此沿该第一方向相间隔并形成于该喷头本体，且连通该喷头本体的该内底壁面及该外底壁面。