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Vorrichtung zum Prüfen von mikroelektronischen Komponenten; die Vorrichtung umfasst folgendes: einen langgestreckten Probenhalter (10), auf dem mindestens eine der zu prüfenden mikroelektronischen Komponenten (15, 15‘) befestigt ist; einen Ultraschallaktor umfassend einen Ultraschalltransducer (21) zur Erzeugung von Ultraschallwellen und ein mit diesem verbundenes mechanisches Koppelelement (23), das die Ultraschallwellen in eine mechanische Schwingung überführt und den Ultraschalltransducer (21) mechanisch an den Probenhalter (10) koppelt, wobei der Ultraschallaktor derart ausgebildet und mit dem Probenhalter (10) gekoppelt ist, dass der Probenhalter (10) zu einer Biegeschwingung angeregt wird, wobei die Länge (L) des Probenhalters (10) derart gewählt ist, dass eine Resonanzfrequenz des Probenhalters (10) der anregenden Ultraschallfrequenz entspricht, und wobei das Koppelelement (23) eine Sonotrode ist, deren Resonanzfrequenz der Ultraschallfrequenz entspricht. |
