发明名称 |
连续式真空镀膜机被镀物之旋转装置 |
摘要 |
一种连续式真空镀膜机被镀物之旋转装置,包括一镀膜腔体、一动力输出组及一载具,该镀膜腔体两侧系各设有一导轨,于镀膜腔体内设有一齿条,另于靠近两导轨的内侧系各设有一轮轴固定座,动力输出组系与镀膜腔体相结合,其系设有数个间隔排列且可相对两轮轴固定座转动之传动轴、数个分别与传动轴相连结之传动元件及一与其中一转动杆相结合之驱动马达,载具系设有一盒体及数个转动杆,各转动杆的一端系伸设出盒体并套设有一可与齿条相啮合之齿轮,藉以提供一可多面镀膜且方便操作并可改善镀膜品质之旋转装置者。 |
申请公布号 |
TW200905006 |
申请公布日期 |
2009.02.01 |
申请号 |
TW096126031 |
申请日期 |
2007.07.17 |
申请人 |
友威科技股份有限公司 |
发明人 |
李原吉;刘忠炯;余端仁;廖学炯;黄泰源;赖青华;魏木元 |
分类号 |
C23C14/56(2006.01);C23C14/22(2006.01) |
主分类号 |
C23C14/56(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
桂齐恒;阎启泰 |
主权项 |
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地址 |
桃园县龟山乡南上路290巷42弄11号 |