基板処理装置

摘要

基板トレイが、トレイ本体と、基板を支持する基板支持部を含む基板支持板と、を備え、トレイ本体が、基板の処理すべき部分が露出するように前記基板の周端部を保持する基板保持部と、磁力によって前記基板支持板を前記トレイ本体が保持するように、前記基板保持部よりも外側に配置された磁石と、を含み、基板トレイが、シール部材を介してトレイホルダーによって保持される基板処理装置。