一种化学增强型正光刻胶组合物

摘要

一种化学增强型正光刻胶组合物在与基质的粘合性能方面优良，并在光刻胶性能方面优良，并适于使用KrF受激准分子激光曝光机、ArF激光曝光机等曝光，含一种具有一种2-烷基-2-金刚烷基甲基丙烯酸酯聚合单元，和一种单体选自3-羟基-1-金刚烷基(甲基)丙烯酸酯和(甲基)丙烯腈的聚合单元的树脂，以及有一种酸发生剂。

主权项

1.一种化学增强型正光刻胶组合物，包括以组合物总固体组分重量计为80-99.9％重量的树脂(1)，所述树脂具有占树脂(1)的30-80摩尔％的下式(I)表示的聚合单元：其中，R¹代表氢或甲基，R²代表烷基，以及占树脂(1)的20-70摩尔％的3-羟基-1-金刚烷基(甲基)丙烯酸酯的聚合单元；和以组合物总固体组分重量计为0.1-20％重量的酸发生剂。