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In einer Substratbearbeitungsvorrichtung ist ein Steuerabschnitt (121) voreingestellt, um einen Arbeitsablauf der chemischen Flüssigkeit unter Verwendung einer chemischen Flüssigkeit nach einem Spülarbeitsablauf unter Verwendung einer Spülflüssigkeit durchzuführen. Der Steuerabschnitt führt zunächst einen Schritt des Drehens eines Substrats (W) mit einer Drehgeschwindigkeit aus, die nicht geringer als die ist, die in dem Spülarbeitsablauf verwendet wird, und führt die chemische Flüssigkeit auf das Substrat zu, wodurch eine Reinigung in dem Ablaufbehälter (51) durch die chemische Flüssigkeit durchgeführt wird, während Flüssigkeit, die von dem Ablaufbehälter aufgenommen wird, über eine Verlustleitung (113) abgegeben wird. Der Steuerabschnitt führt anschließend einen Schritt des Drehens des Substrats mit einer verringerten Drehgeschwindigkeit für den Arbeitsablauf der chemischen Flüssigkeit aus und führt die chemische Flüssigkeit auf das Substrat zu, wodurch der Arbeitsablauf der chemischen Flüssigkeit auf dem Substrat durchgeführt wird, während mittels einer Ansammlungsleitung (112) Flüssigkeit, die von dem Ablaufbehälter aufgenommen ist, angesammelt wird.
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