用于补偿非线性之装置与方法以及雷射投影系统

摘要

本发明揭示一种补偿至少一个非线性用的装置和方法，非线性是由雷射投影系统中光偏向装置之移动(特别是在至少一个偏向镜振动时)所造成。此装置具有一种透镜系统，其包括至少一个透镜，此透镜提供一种变形，此变形用来补偿该非线性。本发明另涉及一种具有上述装置之投影系统，特别是一种雷射投影系统。