探针卡高温测试装置

摘要

本发明提出了一种探针卡高温测试装置，在探针卡上安装加热片，在高温测试时，由加热片在探针卡上对探针进行持续加热，使探针保持在设定的温度范围，在整个测试过程中避免出现探针温度降低，针尖形变过大的情况。采用本发明，整个测试过程不增加任何额外预热时间，不增加测试步进算法的不确定性以及测试复杂度，也不造成额外芯片损失。

主权项

一种探针卡高温测试装置，其特征在于，包括：探针卡及加热片，其中，所述探针卡上测试面设有多个探针，所述加热片位于所述探针卡与测试面相对的一面上，加热时覆盖所有探针。