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发明名称 Method and apparatus for detecting a crystallographic axis of a single crystal ingot for of determination
摘要
申请公布号 EP0500339(B1) 申请公布日期 1996.10.09
申请号 EP19920301356 申请日期 1992.02.19
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI COMPANY LIMITED 发明人 IBE, HIROYUKI;TERASHIMA, SEIICHI;MASUI, TSUMORU
分类号 G01N23/20;G01N23/207;(IPC1-7):G01N23/207 主分类号 G01N23/20
代理机构 代理人
主权项
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