| 发明名称 | 硅酸盐材料的洁净工艺及其设备 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种石英衬底的处理方法，该方法包括：制备用于提供具有初始粗糙度的工作表面的衬底；然后超声酸蚀刻该工作表面使其粗糙度增加至少约10％。在本发明的一实施例中，初始表面粗糙度大于约10Ra，以及在另一实施方式中，初始表面粗糙度大于约200Ra。在再一实施例中，如果初始表面区域的粗糙度小于约200Ra，就要增加该区域的粗糙度使其大于约200Ra。在本发明的其它实施例中，工作表面的粗糙度增加至少约25％或者约50％。同时，随着表面区域粗糙度的增加，由于减少衬底上颗粒的污染而减少了表面的缺陷。 | ||
| 申请公布号 | CN1882714A | 申请公布日期 | 2006.12.20 |
| 申请号 | CN200480027645.9 | 申请日期 | 2004.07.22 |
| 申请人 | 晶粒精密清理仪器有限公司 | 发明人 | 萨曼莎·坦;陈宁 |
| 分类号 | C23F1/00(2006.01) | 主分类号 | C23F1/00(2006.01) |
| 代理机构 | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人 | 徐金国;梁挥 |
| 主权项 | 1.一种石英衬底表面的处理方法，包括：制备石英衬底以提供具有初始工作表面粗糙度的工作表面；以及超声酸蚀刻所述工作表面以将所述工作表面的粗糙度增加至少约10％。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||