| 发明名称 | 增强的含氧化物溅射靶合金组合物 | ||
| 摘要 | 一种溅射靶，其包括钴(Co)、铂(Pt)、单组分氧化物或多组分氧化物，以及单体金属添加剂。该单体金属添加剂具有大于－0.03电子伏特的还原电势，并且在室温下与钴(Co)基本上不相溶。该单体金属添加剂为铜(Cu)、银(Ag)或金(Au)，且溅射靶还含有铬(Cr)和/或硼(B)。该溅射靶含有2－10原子％的铜(Cu)、银(Ag)或金(Au)或其它单体金属添加剂。因此，该增强的溅射靶通过磁晶各向异性的增强和晶粒－晶粒隔离的增加使得热稳定性和SNR得到了显著的改善。 | ||
| 申请公布号 | CN1880501A | 申请公布日期 | 2006.12.20 |
| 申请号 | CN200610067822.7 | 申请日期 | 2006.03.13 |
| 申请人 | 黑罗伊斯公司 | 发明人 | 迈克尔·吉恩·拉辛;阿尼班·达斯;史蒂文·罗杰·肯尼迪;郑京 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01);C23C14/14(2006.01);G11B5/62(2006.01);G11B5/84(2006.01) | 主分类号 | C23C14/34(2006.01) |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 林潮;樊卫民 |
| 主权项 | 1.一种溅射靶，该溅射靶含有钴(Co)、铂(Pt)、单组分氧化物和单体金属添加剂，其中该单体金属添加剂具有大于-0.03电子伏特的还原电势，并且在室温下与钴(Co)基本上不相溶。 | ||
| 地址 | 美国亚利桑那州 | ||