一种用直流电弧等离子体法制取Al<SUB>3</SUB>O<SUB>3</SUB>N陶瓷纳米线的方法

摘要

本发明提供一种用直流电弧等离子体法制取Al₃O₃N陶瓷纳米线的方法，其主要技术特征是，以金属钨作为阴极，在氧气和氮气的混合条件下，O₂∶N₂体积比在0.2-0.8之间，总压力100-700torr范围，电弧电流为100-300A，气体流量5-10l/s，点弧5小时。制备出的AL₃O₃N陶瓷纳米线直径分布为25-200nm，长度达到0.5-30μm，AL₃O₃N纳米线是尖晶石结构，晶格常数为a＝0.79nm。其优点是纯度高、成本低、操作简单、合成时间短。因此是一种获得高品质的AL₃O₃N纳米线的制备方法。

主权项

1、一种用直流电弧等离子体法制取Al3O3N陶瓷纳米线的方法，其特征是以高纯的铝为原材料作为阳极，以金属钨作为阴极，把直径为5mm钨固定在阴极上，把Al棒放在阳极上，封闭好设备，抽真空到0.133Pa，用Ar气冲洗两遍，再充入O2与N2体积比在0.2～0.8之间的混合气体，到压力为1.33×104～9.33×104Pa范围，开始点弧，电弧电流为100-300A，开动循环泵，调节气体流量为5～10l/s，点弧5小时后，停弧，沉降1小时，抽真空到1.33Pa，再充入氩气到1.013×105Pa，样品制备完成。