| 发明名称 | 一种用于离子注入机的高压自动放电装置 | ||
| 摘要 | 本发明是一种用于快速释放残余高压和静电的装置，用于离子注入机中高压仓或高压区机房架残余高压和静电释放，包括底板、压块、推块、固定座、放电杆、盘头螺钉、内六角圆柱头螺钉和气缸组成。 | ||
| 申请公布号 | CN101038851A | 申请公布日期 | 2007.09.19 |
| 申请号 | CN200610065119.2 | 申请日期 | 2006.03.17 |
| 申请人 | 北京中科信电子装备有限公司 | 发明人 | 伍三忠;彭立波;孙雪平;何科峰;文超 |
| 分类号 | H01J37/317(2006.01);H01L21/265(2006.01);H01L21/425(2006.01) | 主分类号 | H01J37/317(2006.01) |
| 代理机构 | 北京中海智圣知识产权代理有限公司 | 代理人 | 胡静;曾永珠 |
| 主权项 | 1.一种用于离子注入机的高压自动放电装置，其特征在于，包括底板(1)，压块(2)，推块(3)，固定座(4)，放电杆(5)，盘头螺钉(6)，盘头螺钉(7)，内六角圆柱头螺钉(8)，气缸(9)；所述的底板(1)是将整个放电装置固定在机房上，同时将压块(2)和固定座(4)固定在底板(1)上；所述的压块(2)通过盘头螺钉(6)连接到底板(1)上，将放电杆(5)限制在底板(1)与压块(2)贴合面的孔内；所述的固定座(4)通过盘头螺钉(7)连接在底板(1)上，固定座(4)做成剖分式，通过内六角圆柱头螺钉(8)将固定座(4)的上剖分块和下剖分块连接，中间留有圆孔，将气缸(9)固定在圆孔内；所述的推块(3)通过螺纹与气缸(9)相连，当气缸(9)伸长时，推动放电杆(5)转动。 | ||
| 地址 | 100036北京市海淀区复兴路乙20号汇通商务楼北门44号办公楼2层东段 | ||