发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR ELECTRICAL TESTING SEMICONDUCTOR CHIP
摘要
申请公布号 KR100891526(B1) 申请公布日期 2009.04.06
申请号 KR20070063257 申请日期 2007.06.26
申请人 发明人
分类号 H01L23/488;G01R31/26;H01L21/66 主分类号 H01L23/488
代理机构 代理人
主权项
地址