发明名称 |
Rauscharmes optisches Element zur Detektion von Strahlung mittels Messung elektrischer Signale und Verwendung desselben zur Einstellung einer Reflexionsbedingung |
摘要 |
Rauscharmes optisches Element zur Detektion von Strahlung mittels elektrischer Signale, umfassend ein Substrat (2), an dem mindestens zwei voneinander beabstandete Kontakte aufgebracht sind und auf dem Substrat mindestens eine selektiv reflektierende Komponentenschicht aufgebracht ist, dadurch gekennzeichnet, dass das Substrat (2) vor dem Aufbringen der Komponentenschicht mit einer Implantationsmethode prozessiert wurde, um strahlungsempfindliche Bereiche zur Erzeugung der elektrischen Signale zu erzeugen, die über die Kontakte abgeführt werden. |
申请公布号 |
DE102013008486(B4) |
申请公布日期 |
2016.07.14 |
申请号 |
DE20131008486 |
申请日期 |
2013.05.18 |
申请人 |
Saxray GmbH |
发明人 |
Leisegang, Tilmann;Herrmann, Marco;Schmid, Robert;Schmidt, Bernd |
分类号 |
H01L31/117;G01T1/24;G02B1/10;G02B1/12;G02B5/08;G21K1/06;H01L23/38 |
主分类号 |
H01L31/117 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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