| 摘要 |
적외레이저의 광에너지를 흡수하기 위한 재료의 도포정밀도를 높이지 않고, 또한 레이저에너지의 이용효율을 높이는 것이 가능한 기판 제조 방법을 제공한다. 내부 도체층, 절연층, 및 표층 도체층이 이 순서로 적층된 적층구조를 포함하는 기판의 표층 도체층 상에, 적외역의 파장의 광을 흡수하는 표층막의 액상 재료를 도포함으로써, 표층막을 형성한다. 평면에서 보았을 때 표층막의 내부에 빔스폿이 배치되는 조건으로, 적외역의 레이저빔을 표층막에 입사시킴으로써, 표층 도체층 및 절연층에 바이어홀을 형성한다. |
