| 发明名称 | 定标或检定用的纳米级位移发生器 | ||
| 摘要 | 该装置涉及一种高精度微位移测量装置，在长度计量领域中可以作为一种定标或检定装置。它采用CCD线阵图象传感器，并使它置于法—珀干涉仪聚焦镜的焦平面上进行位移测量，在法—珀干涉仪光路中插入二个反射镜。该装置在确保较高精度前提下具有体积小、制造工艺简化、成本低、操作简便等优点。 | ||
| 申请公布号 | CN2097392U | 申请公布日期 | 1992.02.26 |
| 申请号 | CN91223633.7 | 申请日期 | 1991.08.20 |
| 申请人 | 华中理工大学 | 发明人 | 李柱;李彬;陈家璧;刘冲 |
| 分类号 | G01B9/00 | 主分类号 | G01B9/00 |
| 代理机构 | 华中工学院专利事务所 | 代理人 | 骆如碧 |
| 主权项 | 1、一种定标或检定用的纳米级位移发生器，其特征为用一个CCD阵线图象传感器并使它置于法布里-珀罗干涉仪聚焦镜的焦平面上进行位移量，在法布里-珀罗干涉仪光路中插入反射镜(9)和(12)。 | ||
| 地址 | 430074湖北省武汉市武昌珞喻路151号 | ||