发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08107088(A) 申请公布日期 1996.04.23
申请号 JP19940239946 申请日期 1994.10.04
申请人 FUJITSU LTD 发明人 OKAMOTO HISAHIRO
分类号 H01L21/301;(IPC1-7):H01L21/301 主分类号 H01L21/301
代理机构 代理人
主权项
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