| 发明名称 |
AUTOMATIC HANDLER FOR DEVICE TESTER, AND DEVICE MEASURING METHOD THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08105937(A) |
申请公布日期 |
1996.04.23 |
| 申请号 |
JP19940268230 |
申请日期 |
1994.10.06 |
| 申请人 |
ADVANTEST CORP |
发明人 |
GOTO TOSHIO;KIKUCHI ARITOMO;HAYAMA HISAO |
| 分类号 |
G01R31/26;G01R31/308;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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