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发明名称 Dry etching method for semiconductor
摘要
申请公布号 EP0459469(B1) 申请公布日期 1997.03.19
申请号 EP19910108833 申请日期 1991.05.29
申请人 TOYODA GOSEI CO., LTD.;KABUSHIKI KAISHA TOYOTA CHUO KENKYUSHO 发明人 KOTAKI, MASAHIRO;MANABE, KATSUHIDE;MORI, MASAKI;HASHIMOTO, MASAFUMI
分类号 H01L21/302;H01L21/285;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/308;H01L33/12;H01L33/32;H01L33/40;(IPC1-7):H01L21/306;H01L33/00 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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