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发明名称 FORMATION OF THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH10326758(A) 申请公布日期 1998.12.08
申请号 JP19980072227 申请日期 1998.03.20
申请人 CANON INC 发明人 IWANE MASAAKI;OMI KAZUAKI;YONEHARA TAKAO
分类号 H01L31/04;H01L21/02;H01L21/20;H01L21/304;H01L27/12 主分类号 H01L31/04
代理机构 代理人
主权项
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