用于衬底的温度控制的方法和系统

摘要

本发明公开了一种用于在处理系统中支撑衬底并控制其温度的衬底固定器。该衬底固定器包括：设置在第一区中用于升高第一区的温度的第一加热元件。设置在第二区中的第二加热元件配置用来升高第二区中的温度。此外，第一可控绝缘元件设置在第一加热元件下面，并配置用来控制热量在衬底和位于第一区中的其下面的至少一个冷却元件之间传递。第二可控绝缘元件位于第二加热元件下面并配置用来控制热量在衬底和位于第二区中的其下面的至少一个冷却元件之间的传递。

主权项

1、一种用于在处理系统中支撑衬底并控制其温度的衬底固定器，包括:设置在所述衬底固定器的第一区中并配置用来升高所述第一区中的温度的第一加热元件；配置用来升高 第二区中的温度的第二加热元件；设置在所述第一区中的所述第一加热元件下面的第一可控绝缘元件；设置在所述第二区中的所述第二加热元件下面的第二可控绝缘元件；设置在所述第一和第二可控绝缘元件下面的至少一个冷却元件；和设置在所述第一区和所述第二区之间的第一中间空间，其中所述第一可控绝缘元件配置用来控制热量从所述衬底经过所述衬底固定器的所述第一区到所述至少一个冷却元件的传递，所述第二可控绝缘元件配置用来控制热量从所述衬底经过所述衬底固定器的所述第二区到所述至少一个冷却元件的传递，所述第一中间空间配置为允许热量在所述衬底和所述至少一个冷却元件之间传递。