用于确定旋转轴位置的方法

摘要

本发明涉及一种用于确定可围绕旋转轴（12）旋转的衬底容纳装置（14）的、垂直于X-Y坐标系的旋转轴（12）在X-Y坐标系中的X-Y位置的方法，其中所述衬底容纳装置用于容纳衬底（3），所述方法包括以下步骤：确定设置在衬底容纳装置（14）或者衬底（3）处的参考标记（10）的第一X-Y参考位置RP，将衬底容纳装置（14）围绕旋转轴（12）旋转限定的旋转角R，尤其是旋转180度，确定参考标记（10）的通过该旋转改变的第二X-Y参考位置RP’，以及计算旋转轴（12）在衬底平面中的位置。

主权项

一种用于确定可围绕旋转轴（12）旋转的衬底容纳装置（14）的、垂直于X‑Y坐标系的旋转轴（12）在X‑Y坐标系中的X‑Y位置的方法，其中所述衬底容纳装置用于容纳衬底（3）以及确定所述衬底（3）的接触部的对准误差，所述方法包括以下步骤：－ 确定设置在衬底容纳装置（14）处的参考标记（10）的第一X‑Y参考位置RP，－ 将衬底容纳装置（14）围绕旋转轴（12）旋转限定的旋转角R，－ 确定参考标记（10）的通过所述旋转改变的第二X‑Y参考位置RP’，－ 计算旋转轴（12）在衬底平面中的位置，－ 确定所述衬底（3）的接触部的对准误差，其特征在于，在确定所述旋转轴的位置期间以及在确定接触部的对准误差期间所述衬底（3）都被固定在衬底容纳装置（14）上。