| 摘要 |
도금액을 효율적으로 가열하는 도금 처리 방법을 제공한다. 도금 처리 장치(20)는, 기판(2)을 회전 보지하는 기판 회전 보지 기구(110)와, 기판(2)으로 도금액(35)을 공급하는 도금액 공급 기구(30)를 구비하고 있다. 이 중 도금액 공급 기구(30)는, 기판(2)으로 공급되는 도금액(35)을 저류하는 공급 탱크(31)와, 도금액(35)을 기판(2)에 토출하는 토출 노즐(32)과, 공급 탱크(31)의 도금액(35)을 토출 노즐(32)로 공급하는 도금액 공급관(33)을 가지고 있다. 또한, 도금액 공급 기구(30)의 공급 탱크(31) 또는 도금액 공급관(33) 중 적어도 어느 일방에, 도금액(35)을 제 1 온도로 가열하는 제 1 가열 기구(50)가 장착되어 있다. 또한, 제 1 가열 기구(50)보다 토출 노즐(32)측에서, 도금액 공급관(33)에, 도금액(35)을 제 1 온도보다 고온인 제 2 온도로 가열하는 제 2 가열 기구(60)가 장착되어 있다. |
