一种新型微生物肥料检测装置

摘要

本申请涉及一种新型微生物肥料检测装置，包括检测装置本体和安装于检测装置内部的监控CO₂、NO₂气体浓度的SAW传感器，所述SAW传感器基于SAW器件，拥有五通道结构，其中通道三作为参考通道，通道一与通道二的敏感区域涂覆敏感薄膜材料一，进行CO₂气体的探测，通道四与通道五的敏感区域涂覆敏感薄膜材料二，进行NO₂气体的探测；对每种气体均采用双通道同时探测，大大增加了对气体探测的稳定性，保证了传感器读取数据的可信度，并且重复性良好，高温下测试稳定性佳。

主权项

一种新型微生物肥料检测装置，包括检测装置本体和安装于检测装置内部的监控CO₂、NO₂气体浓度的SAW传感器，所述SAW传感器拥有五通道结构，其中通道三作为参考通道，通道一与通道二的敏感区域涂覆敏感薄膜材料一，进行CO₂气体的探测，通道四与通道五的敏感区域涂覆敏感薄膜材料二，进行NO₂气体的探测；所述通道敏感薄膜材料一、二均为三层，所述敏感薄膜与SAW器件之间还磁控溅射一层Ni膜，所述Ni膜厚度为90nm。