| 摘要 |
본 발명은 프리에어볼의 산화를 억제하면서 안정적으로 볼 직경이 큰 프리에어볼을 형성하는 것이 가능한 본딩 방법 및 본딩 장치를 제공하는 것이다. 가스공급수단(10)으로부터의 삽입통과부(32) 내부로의 산화방지가스의 공급에 추가하여, 삽입통과부(32)의 외부에 설치한 가스공급노즐(40)로부터 삽입통과부(32)의 입구를 덮도록 산화방지가스를 공급하고, 와이어(74)의 선단을 삽입통과부(32) 내에 위치시키고, 또한 캐필러리(3)의 선단을 삽입통과부(32)의 밖에 위치시킨 상태에서 스파크 방전을 발생시킴으로써, 프리에어볼(75)의 산화를 억제 및 안정화를 도모하면서, 볼 직경이 큰 프리에어볼(75)을 형성하는 것을 가능하게 한다. |
