- LIGHTUP PREVENTION USING MULTI-LAYER CERAMIC FABRICATION TECHNIQUES

摘要

이 개시물에 따르면, 냉각 또는 가열 가스를 위한 경로를 규정한 래버린스 구조체를 형성하는 컷아웃들을 가진 복수의 층들을 포함한 정전 척 장치를 포함한 몇몇의 발명들이 제공된다. 구조체는 입자들이 가스 플로우 경로에서 원치 않은 라이트업을 형성하도록 입자들이 가속화되는 것을 방지한다.