APPARATUS FOR HEAT TREATMENT OF SEMICONDUCTOR THIN FILM,申请号KR20050017004-传众专利搜索

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发明名称	APPARATUS FOR HEAT TREATMENT OF SEMICONDUCTOR THIN FILM
摘要
申请公布号	KR20060095370(A)	申请公布日期	2006.08.31
申请号	KR20050017004	申请日期	2005.02.28
申请人	VIATRON TECHNOLOGIES INC.	发明人	AHN, YOUNG JAE;PARK, WANG JUN
分类号	H01L21/22	主分类号	H01L21/22
代理机构		代理人
主权项
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