微影系统及其制程

摘要

本发明是关于一种微影系统及其制程，该微影制程，其包括：接收具有感光层的基底；提供能够使所述感光层的一部分曝光的光源；和提供能够定义要转移到感光层的至少一个图案的光罩。具体地说，基底在感光层上或上方具有上表面，且光罩在其第一表面处接收来自光源的电磁波，并从其第二表面产生多个电磁成分。微影制程还可包括：提供透镜，其在透镜的下表面处提供平整表面，用于将图案转移到感光层；和调节透镜的平整表面与基底的上表面之间的距离，以控制投射到感光层上的电磁成分的数目和量。

主权项

1、一种微影制程，其特征在于其包括：接收具有一感光层的一基底；提供一光源，能够使该感光层的一部分曝光；提供一光罩，能够定义出要转移到该感光层的至少一个图案，其中该光罩在其第一表面处接收来自所述光源的电磁波，且从其第二表面产生多个电磁成分；提供一透镜，用于将该图案转移到该感光层，且该透镜在其下表面处提供平整表面；以及调节该透镜的平整表面与该基底的上表面之间的距离，以控制投射到该感光层上的该些电磁成分的数目和量。