| 摘要 |
회전 테이블(2)의 하방측에서 개질 영역(S1)에 대향하는 위치에 바이어스 전극(120)을 배치함과 함께, 개질 영역(S1)의 상방측에 패러데이 실드(95)를 배치하고, 이들 바이어스 전극(120)과 패러데이 실드(95)를 용량 결합시켜 상기 개질 영역(S1)에 바이어스 전계를 형성한다. 그리고, 바이어스 전극(120)에 대해서, 회전 테이블(2)의 회전 방향에서의 폭 치수(t)가 서로 인접하는 웨이퍼(W)끼리의 이격 치수(d)보다도 작게 되도록 형성하여, 서로 인접하는 웨이퍼(W)에 대해 동시에 바이어스 전계가 가해지는 것을 방지하면서, 각 웨이퍼(W)에 대해 개별로 바이어스 전계를 형성한다. |
