发明名称 SCHLEIFRAD, SCHLEIFVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM WAFERSCHLEIFEN
摘要 Es wird ein Schleifrad mit einer ringförmigen Radbasis und einer Vielzahl von Schleifsteinen, die an einem äußeren Umfangsabschnitt des unteren Endes der ringförmigen Radbasis befestigt sind, offenbart. Jeder der Schleifsteine ist aus einer Mischung aus Schleifkörnern und Photokatalysatorpartikeln ausgebildet, die durch ein Bindemittel zusammengehalten werden. Die Schleifkörner sind Diamantschleifkörner und die Photokatalysatorpartikel Titanoxidpartikel (TiO2).
申请公布号 DE102016203319(A1) 申请公布日期 2016.09.08
申请号 DE201610203319 申请日期 2016.03.01
申请人 DISCO CORPORATION 发明人 Takenouchi, Kenji
分类号 B24D7/06;B24B7/16;B24D3/00;H01L21/304 主分类号 B24D7/06
代理机构 代理人
主权项
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