-- ZnO-SnO-InOBASED SINTERED OXIDE AND AMORPHOUS TRANSPARENT CONDUCTIVE FILM

摘要

(a) Zn, Sn 및 In을 포함하는 원료 화합물 분말을 혼합하여 혼합물을 조제하는 공정, (b) 상기 혼합물을 성형하여 성형체를 조제하는 공정, (c) 상기 성형체를 1000℃ 이상 1300℃ 미만에서 0시간 이상 소결하는 공정, 및 (d) 상기 소결한 성형체를 추가로 1300℃ 이상 1500℃ 미만에서 2시간 이상 소결하는 공정을 포함하는, 산화물 소결체의 제조 방법.