| 摘要 |
와이어 본딩 장치(10)는 와이어(30)를 삽입통과하는 캐필러리(28)와, 불착 판정 회로(36)와, 제어부(80)를 구비한다. 불착 판정 회로(36)는 캐필러리에 유지되어 있는 와이어와 본딩 대상물 사이에 소정의 교류 전기 신호를 인가하여 캐필러리에 유지되어 있는 와이어와 본딩 대상물 사이의 용량값을 취득하고, 제 1 본딩 처리 후에 용량값이 저하되었을 때에 본딩 대상물로부터 와이어가 절단되었다고 판단하고, 그 후 제 2 본드점에 이르기까지 용량값이 회복될 때는, 절단된 상기 와이어가 본딩 대상물에 늘어져서 접촉되었다고 판단한다. |
