ANORDNUNG ZUR EXTREM GEDAEMPFTEN POSITIONSSIGNALAUSSTEUERUNG,申请号DD19890327834-传众专利搜索

发明名称	ANORDNUNG ZUR EXTREM GEDAEMPFTEN POSITIONSSIGNALAUSSTEUERUNG
摘要
申请公布号	DD282538(A5)	申请公布日期	1990.09.12
申请号	DD19890327834	申请日期	1989.04.21
申请人	VEB FORSCHUNGSZENTRUM MIKROELEKTRONIK DRESDEN,DD	发明人	HAASE,NORBERT,DD;SELTMANN,ROLF,DD;STAMM,GUNTER,DD;GLAUBITZ,ULRICH,DD
分类号	G03F9/00;(IPC1-7):G03F9/00;H01L21/72	主分类号	G03F9/00
代理机构		代理人
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